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SEM掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統、電子信號的顯示和記錄系統、真空系統和電源系統等組成，具有放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。應用于生物、醫學、材料和化學等領域。SEM掃描電鏡在使用時應需要以下事項：1、將試樣置于載物臺墊片，調整粗/微調旋鈕進行調焦，直到觀察到的圖像清晰為止；2、調整載物臺位置，找到要觀察的視野，進行分析；3、掃描電鏡調焦時注意不要使物鏡碰到試樣，以免劃傷物鏡；4、當載物臺墊片...

X射線衍射儀XRD是研究物質的物相和晶體結構的主要方法。當某物質(晶體或非晶體)進行衍射分析時，該物質被X射線照射產生不同程度的衍射現象，物質組成、晶型、分子內成鍵方式、分子的構型、構象等決定該物質產生*的衍射圖譜。X射線衍射方法具有不損傷樣品、無污染、快捷、測量精度高、能得到有關晶體完整性的大量信息等優點。因此，X射線衍射分析法作為材料結構和成分分析的一種現代科學方法，已逐步在各學科研究和生產中廣泛應用。X射線衍射儀XRD的形式多種多樣，用途各異，但其基本構成很相似，為衍射...

臺式掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10nm的電子束，并在試樣表面聚焦。末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質相互作用產生二次電子，背反射電子，X射線等信號。這些信號分別被不同的接收器接收，經放大后用來調制熒光屏的亮度。由于經過掃描線圈上的電流與顯像管相應偏轉線圈上的電流同步，...

場發射電鏡采用了肖特基場發射電子(SFE)源。其特點是：探針電流大，容易進行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。電子束噪聲較小，場發射電鏡加速電壓0.1-30kV，且在0.1kV的加速電壓下仍有較高的分辨率。隨著電子束能量的降低，像差也隨著降低。從而在降至100V時，也有水平的分辨率，在30KV時具有高分辨率。高的電子束能量再加上電子束路徑上不存在交叉，降低了電子束電子之間的靜電庫倫作用，避免了由此而引起的亮度降低以及顯微鏡的分辨率的限制。尤其是需要低電子束能量時，...

應用各種礦物學原理與方法，通過礦物的光、電、聲、熱、磁、重、硬度、氣味等以及其主要的化學成分特征，對巖石、礦物樣品、包括光(薄)片、砂片、碎屑、粉末進行觀察、鑒定以區別其礦物類別，以及研究巖石、礦石的主要礦物組成、礦物成生序列，結構、構造、巖(礦)石類型的技術方法，稱為巖礦分析(鑒定)。巖礦分析系統現今已經可以準確地確定礦物微區化學成分、內部結構、晶系，晶胞參數等，對礦物表面進行的精細掃描，已可精密測量礦物表面元素組成、價態、表面形貌，并繪出礦物的三維圖像(地球科學辭典)。地...

SEM掃描電鏡是利用細聚焦電子束在樣品表面逐點掃描，與樣品相互作用產生各種物理信號，這些信號經檢測器接收、放大并轉換成調制信號，在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強、放大倍數范圍大、連續可調、分辨率高、樣品室空間大且樣品制備簡單等特點，是進行樣品表面研究的有效分析工具。通過本實驗學習，了解掃描電鏡基本機構，掌握掃描電鏡的基本使用方法和使用過程中的注意事項。SEM掃描電鏡圖像襯度觀察：1．樣品制備掃描電鏡的優點之一是樣品制備簡單，對于新鮮的...

臺式掃描電鏡體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機械性能好，因而適用的范圍廣。然而半導體器件的性能和穩定性在很大程度上受它表面的微觀狀態的影響。一般在半導體器件試制和生產過程巾包括了切割、研磨、拋光以及各種化學試劑處理等一系列工作，會造成表面的結構發生驚人的變化，所以幾乎每一個步驟都需要對擴散進行檢測，深度進行測繭或者直接看到擴散區的實際分布情況，而生產大型集成電路就更是如此。目前，臺式掃電鏡在半導體中的應用已經深入到許多方面。臺式掃描電鏡利用柬感應電流（EBIC）像和吸收電...